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Patent Information


Title
圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 
Author
HIROSHI FUNAKUBO, TakaoShimizu, Miyu Hasegawa.  
Kind
Patent 
Status
Published 
Applicant
国立大学法人東京工業大学, ＴＤＫ株式会社.  
Filing Date
2018/01/09
Application Number
特願2018-001161
Unexamined Application Date
2019/07/22
Publication Number
特開2019-121702

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