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Patent Information


Title
電子顕微鏡収差補正レンズおよびその作製法、ならびに作製装置 
Author
Takumi Sannomiya.  
Kind
Patent 
Status
Published 
Applicant
国立大学法人東京工業大学, Ｎ－ＥＭラボラトリーズ株式会社.  
Filing Date
2020/03/30
Application Number
特願2020-072563
Unexamined Application Date
2021/10/11
Publication Number
特開2021-161531

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