Science Tokyo Research Repository (T2R2)

Patent Information

Title

金属窒化物、膜、積層体、素子、デバイス、膜の製造方法、磁気トンネル接合素子、及び、磁気デバイス

Author

Satoshi Okamoto, Kuniyuki KAKUSHIMA.

Kind

Patent

Status

Published

Applicant

国立大学法人東京科学大学, 住友化学株式会社.

Filing Date

2024/04/11

Application Number

特願2024-064148

Unexamined Application Date

2025/04/23

Publication Number

特開2025-066629

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