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特許情報


発明の名称
静電誘導吸着具及び静電誘導吸着方法 
発明者
齋藤滋規, 鞠谷雄士, ロペスベレンゲレス　ホセオリオル, 目黒　寛之, 多田隈　建二郎.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2006/12/14
出願番号
特願2006-336511
公開日
2008/07/03
公開番号
特開2008-154301
登録日
2012/04/06
登録番号
特許第4961554号

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