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特許情報


発明の名称
同軸型真空アーク蒸着源及びこれを用いた蒸着装置 
発明者
秦誠一, 山内　隆介, 櫻井淳平, 下河邉明, 栄　顕一郎, 齋藤　敦史, 原　泰博, 阿川　義昭.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社アルバック.  
出願日
2006/04/21
出願番号
特願2006-118143
公開日
2007/11/08
公開番号
特開2007-291425
登録日
2012/04/27
登録番号
特許第4977864号

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