【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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特許情報
発明の名称
結晶性酸化亜鉛(ZnO)薄膜の形成方法
発明者
吉本護
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種別
特許
状態
公開
出願人
国立大学法人東京工業大学.
出願日
2004/08/31
出願番号
特願2004-251818
公開日
2006/03/16
公開番号
特開2006-073579
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