Home >

news ヘルプ

特許情報


発明の名称
アレイ状に微小穴を配列形成する方法、AFM標準試料及びAFM用ステージ 
発明者
吉本護, 荻野　俊郎, 竹内　敦子, 古滝　敏郎, 砂川　和彦.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 国立大学法人　横浜国立大学, 並木精密宝石株式会社.  
出願日
2005/05/26
出願番号
特願2005-154241
公開日
2006/12/07
公開番号
特開2006-327876
登録日
2011/05/20
登録番号
特許第4742360号

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.