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特許情報


発明の名称
AFM標準試料及びその製造方法 
発明者
吉本護, 荻野　俊郎, 竹内　敦子, 古滝　敏郎, 砂川　和彦.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 国立大学法人　横浜国立大学, 並木精密宝石株式会社.  
出願日
2005/03/31
出願番号
特願2005-103281
公開日
2006/10/19
公開番号
特開2006-284316

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