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特許情報


発明の名称
固体膜へのドーピング方法およびドーピング・パターン形成方法 
発明者
矢野哲司, 柴田修一.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2005/02/25
出願番号
特願2005-049849
公開日
2006/09/07
公開番号
特開2006-233276

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