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特許情報


発明の名称
複合酸化物膜および電気伝導性複合化合物膜の製造方法 
発明者
細野秀雄, 平野正浩, 宮川　仁, 松山　博圭, 三田村　哲理.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 旭化成株式会社.  
出願日
2007/10/26
出願番号
特願2007-279093
公開日
2009/05/21
公開番号
特開2009-107858
登録日
2013/03/22
登録番号
特許第5224778号

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