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特許情報


発明の名称
同軸型真空アーク蒸着源及び蒸着装置 
発明者
秦誠一, 阿川　義昭, 山口　広一, 松浦　正道, 伊藤　久美.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社アルバック.  
出願日
2008/01/31
出願番号
特願2008-021310
公開日
2009/08/13
公開番号
特開2009-179863

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