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特許情報


発明の名称
超音波リニアモータと駆動・案内装置 
発明者
中村健太郎, 近藤 秀一, 藤永 輝明.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社アイエイアイ.  
出願日
2010/01/29
出願番号
特願2010-018868
公開日
2011/08/18
公開番号
特開2011-160527

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