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特許情報


発明の名称
真空紫外光発生装置 
発明者
藤井正明, 石内俊一, ウッドワード・ジョナサン, 渡邊　裕一.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2010/03/25
出願番号
特願2010-070306
公開日
2011/10/13
公開番号
特開2011-204882

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