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特許情報


発明の名称
非接触搬送装置、非接触搬送方法及び非接触搬送システム 
発明者
小山大介, 中村健太郎.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2010/02/24
出願番号
特願2011-513274
公開日
2012/11/01
公開番号
特開（再表）2010/131509

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