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特許情報


発明の名称
超音波リニアモータおよび駆動・案内装置 
発明者
中村健太郎, 近藤　秀一, 藤永　輝明.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社アイエイアイ.  
出願日
2011/09/09
出願番号
特願2011-197028
公開日
2013/03/28
公開番号
特開2013-059231

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