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特許情報


発明の名称
微細素子およびその製造方法 
発明者
益一哉, 石原昇, 小西　敏文, 松島　隆明, 町田　克之, 矢野　正樹, 工藤　和久.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社.  
出願日
2012/02/06
出願番号
特願2012-022784
公開日
2013/08/19
公開番号
特開2013-158882
登録日
2015/11/06
登録番号
特許第5831905号

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