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特許情報


発明の名称
アルカリ現像可能なネガ型感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置 
発明者
上田充, 溝口　勝久, 池田　章彦.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 旭化成イーマテリアルズ株式会社.  
出願日
2009/04/07
出願番号
特願2009-093404
公開日
2010/10/28
公開番号
特開2010-243854
登録日
2013/12/27
登録番号
特許第5439640号

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