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特許情報


発明の名称
非接触液滴分注装置及び非接触液滴分注方法 
発明者
中村健太郎, 田中宏樹.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2012/09/10
出願番号
特願2012-198319
公開日
2014/03/20
公開番号
特開2014-052332
登録日
2017/06/02
登録番号
特許第6150372号

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