Home >

news ヘルプ

特許情報


発明の名称
新規ポリシロキサン化合物並びにそれを利用した薄膜および微細構造体の製造方法 
発明者
早川晃鏡, WangLei, 前田　利菜, 吉田　一浩.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ＪＮＣ株式会社.  
出願日
2012/09/04
出願番号
特願2012-193901
公開日
2014/03/17
公開番号
特開2014-047335
登録日
2016/11/11
登録番号
特許第6037326号

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.