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特許情報


発明の名称
揺動素子、アクチュエータ装置、光走査装置、並びに金属薄膜体及び光走査装置の製造方法 
発明者
秦誠一, 渡辺　茂高, 新井　克美.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, キヤノン電子株式会社.  
出願日
2013/08/27
出願番号
特願2013-175803
公開日
2014/04/10
公開番号
特開2014-063152

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