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特許情報
発明の名称
相分離構造を含む構造体の製造方法、及びパターン形成方法、並びにトップコート材料
発明者
早川晃鏡
, 松宮 祐, 瀬下 武広, 大森 克実, 宮城 賢, 塩野 大寿, 宮下 健一郎, 黒澤 剛志.
種別
特許
状態
登録
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東京応化工業株式会社.
出願日
2013/02/22
出願番号
特願2013-033563
公開日
2014/09/08
公開番号
特開2014-162054
登録日
2016/10/21
登録番号
特許第6027912号
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