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特許情報


発明の名称
LPP方式のEUV光源とその発生方法 
発明者
堀岡一彦, 桑原 一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社IHI.  
出願日
2014/07/25
出願番号
特願2014-152154
公開日
2014/10/30
公開番号
特開2014-207246
登録日
2016/05/13
登録番号
特許第5930553号

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