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特許情報


発明の名称
非鉛誘電体薄膜及びこの薄膜形成用組成物並びにこの薄膜の形成方法 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 木村純一, 桜井　英章　, 藤井　順　, 曽山　信幸.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱マテリアル株式会社.  
出願日
2014/08/27
出願番号
特願2014-172455
公開日
2015/06/11
公開番号
特開2015-107905
備考
未審取下

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