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特許情報


発明の名称
ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法 
発明者
波多野睦子, 岩崎孝之, 加藤　宙光, 牧野　俊晴, 小倉　政彦, 竹内　大輔, 山崎　聡.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 国立研究開発法人産業技術総合研究所.  
出願日
2015/12/25
出願番号
特願2015-253889
公開日
2016/06/02
公開番号
特開2016-103651
登録日
2017/04/14
登録番号
特許第6124373号

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