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特許情報


発明の名称
アルミニウム含有酸化物薄膜の製造方法およびアルミニウム含有酸化物薄膜 
発明者
宮島晋介, 高橋　清.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 日本アルキルアルミ株式会社.  
出願日
2015/02/05
出願番号
特願2015-021329
公開日
2016/08/08
公開番号
特開2016-141882

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