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特許情報


発明の名称
周波数可変テラヘルツ発振器及びその製造方法 
発明者
鈴木左文, 北川成一郎, 淺田雅洋.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2014/09/05
出願番号
特願2016-517795
公開日
2017/04/20
公開番号
再表2015/170425
登録日
2019/08/16
登録番号
特許第6570187号

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