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特許情報


発明の名称
材料層の厚み測定方法 
発明者
久保内昌敏, 荒尾与史彦, 草野正大, 酒井　哲也.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 非破壊検査株式会社.  
出願日
2016/08/19
出願番号
特願2016-161497
公開日
2018/02/22
公開番号
特開2018-028521

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