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特許情報


発明の名称
微細素子の製造方法 
発明者
益一哉, 山根大輔, 小西　敏文, 佐布　晃昭, 町田　克之.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社.  
出願日
2017/03/22
出願番号
特願2017-055732
公開日
2018/10/11
公開番号
特開2018-159573
登録日
2021/02/19
登録番号
特許第6840339号

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