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特許情報


発明の名称
シリコン電極とその製造方法 
発明者
宮島晋介, 山田明, 小松　武志　, 小野　陽子.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 日本電信電話株式会社.  
出願日
2017/06/22
出願番号
特願2017-122170
公開日
2019/01/17
公開番号
特開2019-007039
登録日
2021/04/08
登録番号
特許第6865435号

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