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特許情報


発明の名称
双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法 
発明者
齋藤滋規, 河野健人, 田尻陽亮, 高橋邦夫, Radon DHELIKA.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2017/02/28
出願番号
特願2018-503354
公開日
2018/12/27
公開番号
再表2017/150574
登録日
2021/03/04
登録番号
特許第6846821号

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