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特許情報


発明の名称
粒子処理装置、及び粒子処理方法 
発明者
西迫貴志, 鳥取直友.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2018/09/03
出願番号
特願2018-164386
公開日
2020/03/12
公開番号
特開2020-037060

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