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特許情報


発明の名称
圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 
発明者
舟窪浩, 森下　純平, 佐藤　祐介.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ＴＤＫ株式会社.  
出願日
2019/02/26
出願番号
特願2019-032998
公開日
2020/09/03
公開番号
特開2020-140975

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