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特許情報


発明の名称
炭化ケイ素半導体装置及びその製造方法 
発明者
松下雄一郎.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2019/07/30
出願番号
特願2019-140141
公開日
2021/02/18
公開番号
特開2021-022706

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