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特許情報


発明の名称
試料の測定装置、測定方法およびプログラム 
発明者
雨宮智宏, 岡田祥, 河村　賢一　.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社　東京インスツルメンツ.  
出願日
2019/12/02
出願番号
特願2019-217786
公開日
2021/06/10
公開番号
特開2021-089146
登録日
2023/07/24
登録番号
特許第7318868号

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