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特許情報


発明の名称
吸着装置及びその制御プログラム 
発明者
塚越秀行, 濱研吾, 中野　政身　.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 国立大学法人東北大学.  
出願日
2019/12/09
出願番号
特願2019-221844
公開日
2021/06/17
公開番号
特開2021-091016
登録日
2023/12/15
登録番号
特許第7403763号

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