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特許情報


発明の名称
静電吸着デバイス及び静電吸着方法 
発明者
齋藤滋規, 凌智寛, 田岡祐樹, XUSanchuan.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2022/08/17
出願番号
PCT/JP2022/031126
公開日
2023/02/23
公開番号
WO 2023/022180

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