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特許情報


発明の名称
窒化アルミニウムスカンジウム膜及び強誘電体素子 
発明者
舟窪浩, 白石貴久, 安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 召田　雅実　, 楠瀬　好郎, 上岡　義弘　, 末本　祐也　, 飯浜　準也　.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東ソー株式会社.  
出願日
2023/03/30
出願番号
PCT/JP2023/013181
公開日
2023/10/05
公開番号
WO 2023/190869

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