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特許情報


発明の名称
静電吸着デバイス、反り矯正方法、及び取付方法 
発明者
齋藤滋規, 吉本純平, 田岡祐樹.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京科学大学.  
出願日
2024/08/20
出願番号
特願2024-139159
登録日
2025/01/07
登録番号
特許第7614687号

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