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特許情報


発明の名称
検査装置 
発明者
波多野睦子, 北川涼太, 孝橋　照生, 高口　雅成, 谷垣　俊明.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京科学大学, 株式会社日立製作所.  
出願日
2022/08/01
出願番号
特願2024-538530
公開日
2024/02/08
公開番号
WO 2024/028935
登録日
2025/09/25
登録番号
特許第7748687号
備考
権利存続

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