発明者,発明の名称,種別,状態,出願人,出願日,出願番号,公開日,公開番号,登録日,登録番号 "坂本啓,柏山礼興,石村 康生","可変熱膨張及びゼロ熱膨張を有する変位拡大装置及びこれを用いた形状可変副鏡ユニット","特許","登録","国立大学法人東京工業大学","2019/01/31","特願2019-015751","2020/08/13","特開2020-124068","特許第7290306号","2023/06/05"