Tokyo Tech Research Repository (T2R2)

Publication Information

Title

Japanese:	ECR-Ar/N₂プラズマにより形成したHfON膜の極薄膜化に関する検討
English:

Author

Japanese:	佐藤雅樹, 黒瀬朋紀, 大見俊一郎.
English:	佐藤雅樹, 黒瀬朋紀, 大見俊一郎.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電子情報通信学会技術研究報告
English:

Volume, Number, Page

Vol. 105 No. 318 pp. 11－15

Published date

Oct. 2005

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	電子情報通信学会SDM研究会
English:

Conference site

Japanese:	東北大学
English:

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