水熱合成PZT多結晶膜の厚み振動を用いた超音波トランスデューサ

Publication Information

Title

Japanese:	水熱合成PZT多結晶膜の厚み振動を用いた超音波トランスデューサ
English:

Author

Japanese:	石河睦生, 黒澤実, 遠藤聡人, 竹内真一.
English:	Mutsuo Ishikawa, Minoru Kuribayashi Kurosawa, Akihito Endo, Shinichi Takeuchi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	圧電材料・デバイスシンポジウム2005講演論文集
English:

Volume, Number, Page

pp. 75-80

Published date

Feb. 2005

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	圧電材料・デバイスシンポジウム2005
English:

Conference site

Japanese:
English: