時計用水晶振動子による表面形状測定用タッピングスタイラス

Publication Information

Title

Japanese:	時計用水晶振動子による表面形状測定用タッピングスタイラス
English:

Author

Japanese:	初澤毅, 入江礼子, 小池関也, 丸山一男.
English:	初澤毅, 入江礼子, 小池関也, 丸山一男.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	計測自動制御学会論文集
English:	Trans.of the Society of Instrumunt and Control Engineers

Volume, Number, Page

Vol. 34 No. 7 pp. 714-718

Published date

1998

Publisher

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DOI