水熱合成法における圧電多結晶膜の成膜プロセスに関する基礎検討

Publication Information

Title

Japanese:	水熱合成法における圧電多結晶膜の成膜プロセスに関する基礎検討
English:

Author

Japanese:	橘内洋, 川島徳道, 竹内真一, 大平悦三, 石河睦生, 黒澤実.
English:	Hiroshi Kitsunai, Norimichi Kawashima, Shinichi Takeuchi, Etsuzo Odaira, Mutsuo Ishikawa, Minoru Kuribayashi Kurosawa.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第26回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
English:

Volume, Number, Page

pp. 373-374

Published date

Nov. 2005

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第26回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:
English: