MOCVD成長エピタキシャル正方晶PZT膜の応力緩和

Publication Information

Title

Japanese:	MOCVD成長エピタキシャル正方晶PZT膜の応力緩和
English:

Author

Japanese:	中木寛, 金容寛, 横山信太郎, 西田謙, 斎藤啓介, 舟窪浩.
English:	中木寛, 金容寛, 横山信太郎, 西田謙, 斎藤啓介, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会
English:

Volume, Number, Page

Vol. 31p-V-3 pp. P.523.

Published date

Aug. 2006

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	立命館大学びわこ・くさつキャンパス（滋賀県草津市）
English: