シリコン量子ドット超格子膜のVHFプラズマによる再水素化

Publication Information

Title

Japanese:	シリコン量子ドット超格子膜のVHFプラズマによる再水素化
English:

Author

Japanese:	黒川康良, 富田茂樹, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
English:	Yasuyoshi Kurokawa, Shigeki Tomita, Shinsuke Miyajima, AKIRA YAMADA, MAKOTO KONAGAI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
English:

Volume, Number, Page

Vol. 第2分冊 pp. 28a-ZW-12

Published date

Mar. 2007

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第54回応用物理学関係連合講演会
English:

Conference site

Japanese:	青山学院大学相模原キャンパス
English: