電子顕微鏡下における高精度微小物体Pick&amp;Place手法

Publication Information

Title

Japanese:	電子顕微鏡下における高精度微小物体Pick&Place手法
English:

Author

Japanese:	齋藤滋規, 宮崎英喜, 佐藤知正, 高橋邦夫.
English:	Shigeki SAITO, 宮崎英喜, 佐藤知正, KUNIO TAKAHASHI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本機械学会ロボティックス・メカトロニクス講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

Vol. 00-2 pp. 2A1-62-079(1) -- 2A1-62-079(2)

Published date

2000

Publisher

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Conference name

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Conference site

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