Siメンブレン構造上に作成したPNZTキャパシタの強誘電性に及ぼす応力の影響

Publication Information

Title

Japanese:	Siメンブレン構造上に作成したPNZTキャパシタの強誘電性に及ぼす応力の影響
English:	Si substrate induced stress impact on ferroelectricity of PNZT capacitors and suspended membranes

Author

Japanese:	クロスJ.S., エバンズ J.T., モンツロス C., サラザＧ., 斎藤啓介, 森岡仁, 篠崎和夫, 吉岡朋彦, 田中順三.
English:	J.S. Cross, J.T. Evans, C. Montross, G. Salazar, Saito Keisuke, Morioka Hitoshi, Shinozaki Kazuo, Yoshioka Tomohiko, Tanaka Junzo.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第56 回春季応用物理学会関係連合講演会
English:

Volume, Number, Page

No. 31a-ZH-2

Published date

Mar. 2009

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第56 回春季応用物理学会関係連合講演会
English:

Conference site

Japanese:	筑波大学(つくば), 茨城
English: