MEMS円形アクチュエータを用いたRF可変インダクタの検討

Publication Information

Title

Japanese:	MEMS円形アクチュエータを用いたRF可変インダクタの検討
English:	RF Variable Inductor with MEMS Circular Actuator

Author

Japanese:	白根篤史, 水落裕, 天川修平, 石原昇, 益一哉.
English:	Atsushi Shirane, Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第 57 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集(2010 春東海大学)
English:

Volume, Number, Page

pp. 13-248

Published date

Mar. 2010

Publisher

Japanese:	第 57 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集(2010 春東海大学)
English:

Conference name

Japanese:	第 57 回応用物理学関係連合講演会(2010 春東海大学)
English:

Conference site

Japanese:	神奈川県平塚市(東海大学)
English: