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Publication Information


Title
Japanese: 
English:Effects of Metal Layer Insertion on EOT scaling in TiN/Metal/ La2O3 Si High –k Gate Stacks 
Author
Japanese: パールハットアヘメト, 来山大祐, 金田翼, 鈴木 拓也, 小柳友常, 幸田みゆき, マイマイティ マイマイティレャアティ, 川那子高暢, 角嶋邦之, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
English: Ahmet Parhat, 来山大祐, 金田翼, 鈴木 拓也, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, マイマイティ マイマイティレャアティ, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
Language English 
Journal/Book name
Japanese: 
English: 
Volume, Number, Page        
Published date 2011 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese: 
English:,219th ECS Meeting 
Conference site
Japanese: 
English:Montreal 

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